Задний конец линии - Back end of line
 | Эта статья нужны дополнительные цитаты для проверка. (Январь 2009 г.) (Узнайте, как и когда удалить этот шаблон сообщения) |
В задний конец линии (BEOL) - вторая часть Изготовление ИС где отдельные устройства (транзисторы, конденсаторы, резисторы и т. д.) получают взаимосвязанный с разводкой на вафле, слоем металлизации. Обычные металлы медь и алюминий.[1] BEOL обычно начинается, когда на пластину наносится первый слой металла. BEOL включает контакты, изоляционные слои (диэлектрики ), металлические уровни и площадки для соединения микросхемы с корпусом.
После последнего ФЕОЛ шаг, есть вафля с изолированными транзисторами (без проводов). В части BEOL стадии изготовления формируются контакты (площадки), соединительные провода, переходные отверстия и диэлектрические структуры. Для современного процесса ИС в BEOL можно добавить более 10 металлических слоев.
Шаги BEOL:
- Силицирование областей истока и стока и поликремний область, край.
- Добавление диэлектрика (первый нижний слой дометаллический диэлектрик (PMD) - для изоляции металла от кремния и поликремния), CMP обрабатывая это
- Проделайте отверстия в PMD, сделайте в них контакты.
- Добавьте металлический слой 1
- Добавьте второй диэлектрик, называемый межметаллический диэлектрик (IMD)
- Сделайте переходные отверстия через диэлектрик, чтобы соединить нижний металл с верхним металлом. Vias заполнены Металл CVD процесс.
- Повторите шаги 4–6, чтобы получить все металлические слои.
- Добавьте последний пассивирующий слой для защиты микрочипа
До 1998 года практически все микросхемы использовали алюминий для металлических соединительных слоев.[2]
Четыре металла с самой высокой электропроводностью - это серебро с самой высокой проводимостью, затем медь, затем золото, а затем алюминий.[нужна цитата ]
После BEOL идет «внутренний процесс» (также называемый post-fab), который выполняется не в чистом помещении, часто другой компанией. вафельный тест, шлифовка вафель, разделение, умирают тесты, Упаковка IC и финальный тест.
Смотрите также
Рекомендации
- ^ Карен А. Рейнхардт и Вернер Керн (2008). Справочник по технологии очистки кремниевых пластин (2-е изд.). Уильям Эндрю. п. 202. ISBN 978-0-8155-1554-8.
- ^ «Архитектура медных межсоединений».
дальнейшее чтение
- «Глава 11: Серверная технология». Технология кремниевых СБИС: основы, практика и моделирование. Прентис Холл. 2000. С.681 –786. ISBN 0-13-085037-3.
- «Глава 7.2.2: Интеграция процессов CMOS: внутренняя интеграция». CMOS: схемотехника, компоновка и моделирование. Wiley-IEEE. 2010. С. 199–208 [177–79]. ISBN 978-0-470-88132-3.